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高純供氣系統(tǒng)生產(chǎn)廠家常用指南 艾明坷
2021-06-18






大宗特氣供氣系統(tǒng)介紹

大宗特氣供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) 超大規(guī)模集成電路廠(氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等),100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線(氣體種類包括NH3),發(fā)光二極管的磊晶工序線(氣體種類包括NH3)、5代以上液晶顯示器工廠(氣體種類包括4、3、NF3)、光纖(氣體種類包括SiCl4)、硅材料外延生產(chǎn)線(氣體種類包括HCL)等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大,采用1先進的工藝制程設(shè)備,用氣需求量大,對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴格的要求。并成為當今試驗室設(shè)備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應(yīng)源,氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi),并可通過安裝在工作臺上的使用點二級減壓器方便地調(diào)節(jié)壓力和流量。

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特氣系統(tǒng)知識分享:標準氣體

所謂標準氣體就是用來校正測量儀器、評價測定方法、給出未知樣品氣標準值的氣體。它分為調(diào)整零位用標準氣體(零位氣體)、監(jiān)測環(huán)境用標準氣、工業(yè)分析用標準氣體、醫(yī)1療儀器用標準氣體、可燃性氣體泄漏用標準氣體、燃燒器尾氣用標準氣體六大類。由于使用了標準氣,所以即使在不同場所測定,也具有相同測定值。⑥各種可燃氣體管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應(yīng)的檢測口,以便在可燃氣體供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進行吹掃置換,但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通,以避免影響氣體質(zhì)量。

標準氣體應(yīng)用范圍很廣,在化工、石油冶金、機械、航天、電子、陶瓷、汽車、光纖、激光、潛水、環(huán)保、切割、焊接、食品加工等工業(yè)部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。其中在石油化工領(lǐng)域?qū)藴蕷怏w的需求量相對較大。

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試驗室供氣現(xiàn)狀

目前我們可以用采用高壓氣瓶、液體杜瓦瓶、集中供氣系統(tǒng)完成上述工作。同時,當?shù)叵酪?guī)范建議甚至要求將主要的氣體源如氣瓶、杜瓦瓶和液體儲槽放置在工作區(qū)外的指1定區(qū)域,然后將氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi)。

但是考慮安全和效率因素,不考慮經(jīng)濟性因素,集中供氣系統(tǒng)是比較優(yōu)1秀的方式。并成為當今試驗室設(shè)備使用高純氣體的可靠連續(xù)的供應(yīng)源,氣體通過管道系統(tǒng)輸送至試驗室內(nèi),并可通過安裝在工作臺上的使用點二級減壓器方便地調(diào)節(jié)壓力和流量。

國內(nèi)比較老的試驗室在使用氣體的時候大多是將氣瓶放在用氣點的旁邊,然后在氣瓶出口處安裝一個減壓器,然后直接通過紫銅管或四氟軟管連接到儀器上,如果一個試驗室里有多個使用設(shè)備時,就會有很多氣瓶,同時有很多雜亂的管路,同時這些氣體不乏有毒氣體、強腐蝕氣體,以及氣瓶出口高壓等因素,使得這種方式在現(xiàn)實使用過程中是充滿危險性的。實驗室的氣體的排放是非常重要的,如果說實驗室氣體管道設(shè)計不合理,工作人員就容易出事,甚至嚴重的就會有生命危險。



小流量氣體凈化系統(tǒng)

高純供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發(fā)生器等的高純連續(xù)供氣,應(yīng)用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質(zhì)譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點氣,也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體,更可以為半導(dǎo)體工藝設(shè)備提供超高純的工藝氣體。系統(tǒng)采用一拖一、一拖多、多拖一和多拖多的管道式輸氣方式,在一拖多時能夠?qū)崿F(xiàn)分段控制和在多拖一和多拖多時能夠?qū)崿F(xiàn)切換控制。

氣體凈化系統(tǒng)根據(jù)需求采用常溫或者高溫吸附劑,電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件,出氣口配置微米過濾器,其氣體純化指標達到各項雜質(zhì)含量小于1ppb的世界先進水平。

氣體配比儀采用質(zhì)量流量計,電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件,雙卡套或者VCR氣體接頭。



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